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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
發(fā)布時間： 2022-04-26 點擊次數(shù)： 1721次多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
測量示例
可以測量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。
F3-CS桌面式膜厚測量系統(tǒng)
F3-CS 是測量小樣品的測量系統(tǒng)。與測量臺集成的測量系統(tǒng)使其易于攜帶。
只需將樣品的測量面朝下放在載物臺上即可進行測量，大約1秒即可測量膜厚和折射率。主要特點
緊湊的尺寸
輕松連接，僅 USB 連接
光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）
主要用途
光學(xué)鍍膜 硬涂層、防滴膜等 平板 有機膜等 產(chǎn)品陣容
模型 F3-CS-UV F3-CS F3-CS-近紅外 測量波長范圍 190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm 膜厚測量范圍
3nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm 準確性* ± 0.2% 薄膜厚度 ± 0.4% 薄膜厚度 1納米 2納米 3納米 *取決于樣品和測量條件
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