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    日本 Sinto 新東納米級高度測量儀 PHM-400:助力半導(dǎo)體部件質(zhì)量把控

    發(fā)布時間: 2025-08-01  點擊次數(shù): 279次
    在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,高精度的部件檢測是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。日本 Sinto 新東推出的 PHM-400 納米級高度測量儀,憑借其先進(jìn)的非接觸式測量技術(shù)和高精度檢測能力,為半導(dǎo)體部件的質(zhì)量把控提供了有力支持。

    高精度非接觸式測量

    PHM-400 集成了三維形貌傳感器與膜厚傳感器,通過算法綜合計算出實際加工后的部件高度。即使隔著如干膜光刻膠(Dry Film Resist, DFR)等保護(hù)膜,也能實現(xiàn) ±0.1 微米(μm)以下的亞微米級精度測量。這一技術(shù)突破解決了傳統(tǒng)測量方法中需要手動揭膜和重新貼附的繁瑣步驟,顯著減少了人工操作,提升了測量效率和產(chǎn)品良率。

    應(yīng)對高密度化制造需求

    隨著邏輯芯片及高性能存儲器不斷向 3 納米制程推進(jìn),半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件的表面加工精度要求越來越高。PHM-400 的推出,滿足了對氣體流動通道、靜電卡盤等部件溝槽深度和微結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)的高精度控制需求。該設(shè)備已實現(xiàn)與現(xiàn)有加工線的兼容設(shè)計,適合導(dǎo)入中設(shè)備零部件生產(chǎn)線,幫助客戶實現(xiàn)非破壞、非接觸式在線測量。

    廣泛應(yīng)用場景與定制化開發(fā)

    PHM-400 不僅適用于溝槽與壓花等前段加工工序,還可在半導(dǎo)體封裝工程中的高度測量等其他領(lǐng)域應(yīng)用。未來,該設(shè)備有望被應(yīng)用于高密度封裝(HDI)、MEMS 傳感器、先進(jìn)封裝(如 Fan-Out)等多種精密制造場景。此外,PHM-400 支持半定制化開發(fā),能根據(jù)客戶不同生產(chǎn)線的規(guī)格要求進(jìn)行調(diào)整,提升整體引入的靈活性與經(jīng)濟(jì)性。
    日本 Sinto 新東的 PHM-400 納米級高度測量儀憑借其高精度、非接觸式測量技術(shù),為半導(dǎo)體部件的質(zhì)量把控提供了高效、可靠的解決方案,助力半導(dǎo)體制造行業(yè)邁向更高精度的未來。


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