日本Profilm3D 3D 表面形狀測量系統(tǒng)

更新日期：2024-05-15

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簡要描述：

日本Profilm3D 3D 表面形狀測量系統(tǒng)
它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

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產(chǎn)品介紹

日本Profilm3D 3D 表面形狀測量系統(tǒng)

它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

低價！
在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價
納米級高分辨率
采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率
全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
XY自動載物臺，手動左輪，自動光強調(diào)節(jié)，自動對焦功能
緊湊的外殼
主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計。
配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式一臺設(shè)備即可
測量臺階測量和粗糙度測量
操作
簡單基本操作只是簡單的鼠標(biāo)操作
符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測量符合
國際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178
可擴(kuò)展性
多種物鏡選擇，數(shù)據(jù)拼接功能

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體	晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域	注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板	銅線、凸點、透鏡等

規(guī)格

測量規(guī)格

	垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)	相移干涉測量 (PSI)
測量范圍	50 納米 – 10 毫米	0 – 3 微米
準(zhǔn)確性	0.7%	——
再現(xiàn)性	0.1%	——
反射范圍	0.05% – 99%	0.05% – 99%

設(shè)備規(guī)格

XY自動載物臺	100mm x 100mm
Z軸驅(qū)動范圍	100mm
壓電驅(qū)動范圍	500微米
掃描速度	12微米/秒
相機(jī)	2592 x 1944（500 萬像素）
體重	15公斤

物鏡規(guī)格

	5次	10倍	20次	50次	百倍
視野	4.0 x 3.4 毫米	2.0 x 1.7 毫米	1.0 x 0.85mm	0.4 x 0.34mm	0.2 x 0.17mm
鏡頭分辨率	2.1微米	0.92微米	0.69 微米	0.5微米	0.4微米